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新型压力变送器提高了真空沉积应用中的稳定性

作者:admin 发布日期: 2019-09-27 二维码分享

       大多数传统的真空沉积工具使用压力变送器来维持真空室中的气体压力,节流阀设置可能花费数千美元,它还需要一个单好的控制模块来为阀门供电,提供PID数据和设定点功能,节流阀设置还可能在更换气体或等待腔室中的气体沉降时导致延迟。

       使用快速作用的比例控制阀,将控制仪器放置在腔室上游可以提供更快的响应时间和更好的稳定性。上游方法还消除了对额外阀门,切割设备需求和设置成本的需求。Alicat仪器提供了这种替代方案。

       使用压力变送器控制上游的真空水平

       对于大型或OEM项目,压力变送器(外部传感器)压力控制器能够在安装在腔室上游时控制真空水平。当过程压力处于高真空或超高真空并需要外部压力表时,使用该系列。压力变送器从传感器获取模拟信号,并使用比例阀提供闭环控制。

    

       通过添加外部压力传感器,可以更精确地保持腔室压力,同时还允许用户好立于真空沉积系统整体改变或调节用过的气体。这允许更快地施加中性气体,改善涂层环境中的控制和稳定的压力水平。

       压力变送器压力控制器为外部真空计提供电源,并兼容所有仪表技术,包括离子,皮拉尼和冷阴极以及有源或无源仪表和组合仪表。

       集成真空控制器(IVC)不再有节流阀体积

       对于没有现有真空计的小型实验和项目,Alicat IVC就是解决方案。与压力变送器一样,它减少了传统节流阀压力控制方法的体积,复杂性和费用。我们将真空传感器直接集成到设备中,从而可以立即控制真空室中的压力。我们的传感器能够以高精度到低范围运行,低至10毫托。Alicat IVC还包括直接来自设备的PID控制,以及气动隔离传感器-与市场上的其他解决方案相比,确保更高的精度-精确测量腔室和气体好立性。

       在真空涂层应用中将压力控制装置放置在腔室的上游节省了时间,成本并提高了真空沉积工具的精度。
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